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晶圆检测仪

简要描述:KLA-Tencor AIT I 晶圆检测仪是一种用于检测图案化晶圆表面缺陷的系统。
该系统配置为处理6英寸(150毫米)和8英寸(200毫米)的晶圆,并具备自动对焦和双暗场检查功能。
此外,它还配备了多通道采集光学系统、独立可编程的空间滤波器以及X/Y驱动/控制器机架和运动控制器卡。

  • 产品型号:AIT I
  • 厂商性质:经销商
  • 更新日期:2024-09-14
  • 访  问  量:161

详细介绍

KLA-Tencor AIT I 晶圆检测仪

是一种用于检测图案化晶圆表面缺陷的系统。该系统配置为处理6英寸(150毫米)和8英寸(200毫米)的晶圆,并具备自动对焦和双暗场检查功能。此外,它还配备了多通道采集光学系统、独立可编程的空间滤波器以及X/Y驱动/控制器机架和运动控制器卡。


AIT I 系统是一种高速晶圆测试和计量系统,旨在检测即使是最小的、可能降低产量的隐形对眼缺陷,从而为半导体制造企业提供更好的质量控制和更高的产量。这种系统的使用可以显著提高生产效率和产品质量,确保在生产过程中及时发现并修复潜在问题。


KLA-Tencor AIT I 的主要特点包括:

- 处理6英寸和8英寸晶圆的能力。

- 配备多通道采集光学系统和独立可编程的空间滤波器。

- 自动对焦和双暗场检查功能。

- 提供高精度的缺陷检测能力,能够快速准确地识别并分类各种类型的缺陷。


这些特性使得KLA-Tencor AIT I 成为半导体制造中的重要工具,帮助制造商提高良率和生产效率。



KLA-Tencor AIT I 系统概述

配置用于6"/150mm & 8"/200mm晶圆

多通道收集光学系统,独立可编程空间滤镜

X/Y驱动/控制器机架和运动控制器卡




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