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  • KLA-Tencor Spectra-Shape 8660 光学计量仪是一种先进的半导体晶圆测试和计量设备，主要用于精确测量半导体晶圆的特征尺寸和形状。该系统采用光学技术，能够对直径达300毫米的晶圆进行高精度的CD（Critical Dimension）测量和形状测量。

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    产品价格：面议
    厂商性质：经销商
    更新日期：2024-09-14
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