HMI eScan 315晶圆检测仪是一款由HMI公司制造的自动化晶圆和掩模检查设备，旨在为图案化晶圆和光罩检查过程提供经济高效的解决方案。该系统采用专有的PAT-FINDER图像处理器，并利用三通道彩色CCD相机准确捕捉高达143个晶圆或掩模的图像。

HMI eScan 315晶圆检测仪具有高级运动控制功能，包括多轴扫描和插值运动控制，能够进行自动对准、扫描、照明和分析，以进行全面的缺陷审查，最大分辨率高达26百万像素。此外，它还具备强大的技术、先进的运动控制功能和?？榛こ躺杓疲侨魏涡幸祷蜓芯炕沟睦硐胙≡?。

需要注意的是，HMI eScan 315与HERMES MICROVISION / HMI eScan 315xp是不同的型号。后者是一款功能更强大、高精度的掩模和晶圆检测设备，拥有先进的成像技术和软件，提供自动缺陷检测、测量、分割和分类能力，一直到纳米级。eScan 315xp还结合了电子束光学、低温扫描系统和高度的图像解析算法，为用户提供了无与伦bi的精度和准确性。

HMI eScan 315是一款功能强大且经济高效的晶圆和掩模检查设备，适用于各种行业和研究机构的需求。