OLYMPUS AL120 光学显微镜

是一种用于半导体晶圆搬送及检测的显微镜系统，具有多种型号和配置，以满足不同尺寸和需求的晶圆处理。我们可以详细描述其主要特点和功能：

1. **适用范围**：

   - AL120系列包括三种基本机型：单200mm（AL120-L8）、150mm和200mm兼容（AL120-L86）以及单150mm或以下尺寸（AL120-L6）。

   - 这些系统设计用于晶圆传输和显微镜检查，并且可以进行晶圆的正面和背面宏观检查。

2. **显微镜配置**：

   - AL120搭载了奥林巴斯MX专业晶圆检查显微镜系列，支持多种观测方法，包括明视场、暗视场、微分干涉（DIC）、近红外线（IR）和深紫外线（DUV），从而实现卓yue的图像分辨率。

   - 具体型号如AL120-LMB12-LP3和AL120-LMB12-F等，都配备了相应的操作手册和维护指南。

3. **参数与性能**：

   - 晶圆装卸器的参数和配方设置显示在LCD显示屏上，便于操作员快速选择不同的产品。

   - 系统具备配方驱动功能，包含10种可编程系统配置，这些配置包括特定晶圆匣类型、晶圆规格和传输速度。

4. **安全性和使用便利性**：

   - AL120系列提供了非接触式中心定位功能，确保晶圆在显微镜台上的精确放置，并且可以在显微镜检查过程中旋转360度。

   - 手册中详细介绍了如何充分利用设备的性能并确保安全操作，建议用户在操作前阅读并保留手册作为未来参考。

5. **适用场景**：

   - AL120非常适合于前道到后道工程的晶圆检查，能够高效安全地搬送薄片晶圆。

   - 它适用于硅、化合物晶圆以及平板显示器的检查。

综上所述，OLYMPUS AL120 光学显微镜是一款功能强大且灵活的半导体晶圆搬送及检测显微镜系统，适用于各种尺寸的晶圆处理和显微检查任务。其先进的技术和多样的配置使其成为工业和科研领域中的重要工具。