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椭圆偏光仪

简要描述:RUDOLPH S3000A 椭圆偏光仪是一种高性能的椭圆偏光计,广泛应用于半导体行业。以下是其详细规格参数:
波长:该设备配备532nm的激光源。
样品尺寸:适用于12英寸晶圆。
测量功能:
薄膜厚度、折射率、光学常数和材料属性等。
可以进行无损和原位测量,具有出色的重复性、准确性和长期稳定性。

  • 产品型号:S3000A
  • 厂商性质:经销商
  • 更新日期:2024-09-14
  • 访  问  量:177

详细介绍

RUDOLPH S3000A 椭圆偏光仪

Rudolph S3000A 椭圆偏光仪概述

先进的光谱椭圆仪

高性能,精确度高

多通道双波长光谱椭圆仪

主要特点

波长范围广(118-8000nm)

材料范围广泛(有机和无机半导体、薄膜等)

可测量薄膜厚度和光学性能

重复性和可靠性

技术规格

自校准光机、光纤激光二极管源和高分辨率彩色CCD检测器

基于Windows操作系统,先进流程控制软件

自动化测量薄膜的厚度、光学常数、应力和折射率

应用领域

半导体行业生产用透明度计量工具

晶圆测试和计量设备,适用于半导体和高级封装生产线

技术优势

无损光学成像技术

X射线探测技术,测量粒子/缺陷密度、尺寸和材料特性

产品信息

晶圆尺寸为12英寸

设计用于300mm fab范围内的应用






RUDOLPH S3000A是一款高性能的椭圆偏光仪,广泛应用于薄膜和表面的无损测量。该设备具有以下主要特点:

  1. 高精度与高重复性:RUDOLPH S3000A能够提供精确、可靠的测量结果,适用于科学和工业应用。

  2. 多通道双波长设计:它是一种先进的多通道、双波长光谱椭圆偏光仪,可以同时对多达四个样品进行测量,确保了结果的可重复性和可靠性

  3. 宽波长范围:该设备支持从118到8000纳米的广泛波长范围,能够测量有机和无机半导体、薄膜、光学层和基板等多种材料。

  4. 温度控制与数据收集:配备温度控制系统和数据收集功能,使得用户可以方便地进行旋转分析和数据分析

  5. 自校准光机与高分辨率检测器:配备自校准光机和高分辨率彩色CCD检测器,确保了测量的准确性和长期稳定性。

  6. 用户友好的软件工具:基于Windows的操作系统和先进的流程控制软件,使操作更加简便,并且便于定制和分析

  7. 晶片尺寸兼容性:可以测量最大150毫米的晶片,样本厚度范围为1毫米至4毫米,还可以通过选配模块提升性能。

  8. 应用领域:该设备不仅适用于薄膜厚度和光学常数的测量,还能够测量应力和折射率等物理特性,适用于各种科学和工业应用

总之,RUDOLPH S3000A是一款功能强大且用途广泛的椭圆偏光仪,适合需要高精度和高重复性的科学研究和工业生产环境。






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