HITACHI CG 4100临界尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）

分辨率：1.8 nm产量：42片/小时MAM 时间：2.8 秒级着陆精度：±1μm

Hitachi CG 4100 是一款关键尺寸扫描电子显微镜 （CD-SEM），专为半导体和纳米技术领域的高性能应用而设计。主要规格和功能包括：

1. 分辨率：CG 4100 提供高分辨率成像功能，分辨率低至 1.8 纳米，这对于详细分析材料和半导体器件中的小特征至关重要。

2. 吞吐量：该系统每小时可处理多达 42 片晶圆，适用于大批量制造环境。

3. 载物台精度：载物台着陆精度为 ±1 微米，确保精确定位以实现一致的测量。

4. 高压操作：显微镜在高达150kV的加速电压下工作，为更好的成像和分析提供高能量。

5. 成像和分析：CG 4100 配备先进的电子光学元件和强大的电子枪，可提供出色的图像清晰度和清晰度。它还包括自动对焦和导航系统，以提高易用性和效率。

6. 软件和自动化：CG 4100 具有智能自动化功能，包括自动机械臂、图像分析软件和可定制的配置，以满足各种用户需求。这样可以快速准确地收集和分析数据。

7. 模块化设计：?？榛杓圃市硎褂貌煌奶讲馄骱驮匚锾ń锌啥ㄖ频呐渲茫允视μ囟ㄓτ?，例如吸收和发射光谱、高分辨率成像和能量色散光谱。

这些特性使 Hitachi CG 4100 成为各种科学和工业应用中详细 3D 成像和分析的理想选择