临界尺寸扫描电子显微镜CG 4000-深圳市达瑞博电子有限公司

临界尺寸扫描电子显微镜

简要描述：Hitachi CG4000是一款临界尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）.它专为超精细半导体器件而设计.
以下是一些主要规格和功能：
分辨率：1.8nm（加速电压：800V）
重复性：±1% 或 0.3 nm （3 sigma）（采用日立标准晶圆）
晶圆尺寸：300mm（200mm）
产量：36 片晶圆/小时（晶圆上有 20 个测量点）
加速电压：300 - 1600 V

产品型号：CG 4000

厂商性质：经销商

更新日期：2024-09-14

访问量：243

Hitachi CG4000是一款临界尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）.它专为超精细半导体器件而设计.

以下是一些主要规格和功能：

分辨率：1.8nm（加速电压：800V）
重复性：±1% 或 0.3 nm （3 sigma）（采用日立标准晶圆）
晶圆尺寸：300mm（200mm）
产量：36 片晶圆/小时（晶圆上有 20 个测量点）
加速电压：300 - 1,600 V （10V步进）（200 - 2,000 V：可选）
它提供高分辨率、高精度的计量可重复性
它包括高精度平均 CD （ACD）计量功能
它支持行业标准的线边缘粗糙度（LER）计量功能
它具有改进的可操作性和自动维护功能

该器件被广泛用作半导体工艺中CD测量的主要工具.它能够实现亚纳米级的测量精度以及高分辨率、高精度的计量可重复性和高通量.它旨在应对半导体行业设计规则不断缩小时对过程控制的严格要求.它是一款功能强大的工具，可提供宽加速电压范围、高灵敏度数字成像、电荷?；ばＵ⒛芰柯瞬ㄆ鞴δ?、精确运动控制以及自动样品交换和聚焦.

rs罗德与施瓦茨线性电源|校准件-实时频谱分析仪-深圳市达瑞博电子有限公司

临界尺寸扫描电子显微镜

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：